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在線氣相色譜儀主要包括電子壓力控制模塊、色譜模塊、數據處理模塊、接口模塊和顯示模塊，還包括防爆模塊等輔助單元。

采用電子壓力控制模塊調節載氣和樣氣的壓力，穩壓后的載氣攜帶樣氣進入色譜模塊。色譜模塊由進樣器、色譜柱和檢測器組成，進樣器獲取一定量的樣氣后，送入色譜柱分離，然后由檢測器輸出檢測信號。數據處理模塊用于分析儀的工作流程控制，獲取色譜模塊的檢測器信號，經處理得到氣體分析結果。接口電路實現分析儀和外部設備之間的數據和狀態信息的通訊，并進行反饋控制。

其中，在線氣相色譜模塊作為核心部件，采用的是微型色譜技術，基于微電子機械系統技術(MEMS)在硅片上制造高質量、高精度微細進樣系統和高靈敏度的微細熱導檢測器。由于所有微細器件在硅片上完成，故這些器件的化學性能很穩定，惰性好，工藝上重復性好，制造精度高。

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